Gas Conversion Factor 측정장비

가스 Conversion Factor란 무엇인가 ?

. MFC(Mass Flow Controller, 가스유량제어기)에서 같은 설정값으로 여러가지 다른 종류의 가스를 흘릴때
  가스의 종류에 따라서 흐르는 부피가 다르다.
  가스의 종류에 따라 다른 부피를 질소의 부피로 나누어준값(정규화 값)을 그 가스의 Conversion Factor라 한다.
  예를들어 CO2의 C.F=0.74라면 어떤 MFC에서 질소가 100cc/min흐르는 설정에 대해서 CO2는 74cc/min
  흐른다는 뜻이다.

가스 Conversion Factor가 왜 필요한가 ?

. 예를들어 NO2같은 독성가스를 생산/교정할때 실제로 NO2 가스를 사용한다면 작업자의 안전이
  매우 위험할것이다.
  그러나 NO2가스의 Conversion factor를 알고 있다면 N2로 교정한후 Conversion factor로 환산하면 된다.

. 사용자 입장에서 볼때도 Conversion factor를 알고 있다면 N2용 MFC를 구매한후 여러가지 다른 가스에도
  적용할수 있다. 실제로 MFC생산 회사에서도 N2로 교정하기 때문에 Conversion factor가 정확하다면
  다른 문제는 없다.

혼합가스의 Conversion Factor는 어떻게 해야하나 ?

. 조성을 알고있는 혼합가스(예를들면 CO2 30%, N2 70%와 같이)라면 MFC회사에서 제공하는 복합가스의
  Conversion Factor 계산식을 적용할수 있다.(정확하지는 않다고 경고 하고 있지만)
  성분이 복잡하거나 조성을 정확히 알수 없는 경우, 예를들면 CFC를 대체하는
  Rl34a, R152a 냉매가스와 같은경우, MSDS를 봐도 Conversion Factor를 알수없다.
  Conversion Factor 측정장비는 이런문제를 해결하기 위해서 개발되었다.

Conversion Factor측정장비의 정확도는 어떻게 검증하는가 ?

. Conversion Factor를 알고있는 가스를 Conversion Factor 측정장비로 측정 했을때
  알고있는값과 측정값을 비교하여 증명한다. (정밀도: +-1.5% 오차).