가스센서 검사장비

기능

  • 가스시스템내장(표준가스 발생기, Purge기능, 폐가스배출기능).
  • 밀폐형 스테인레스쳄버, 기본 300liter용적.
  • 반도체식, EMF/전기화학식(포텐시오스텟 바이어스 내장).
  • 각 모듈당 50개 센서 측정가능, Module단위로 증설가능, 기본 4모듈(200개 측정가능).
  • 각 모듈당 전압강하가 없는(Voltage drop compensated), Programmable 히터전압(0~10V/20A).
  • 각 모듈당 전류증폭된, Programmable 레프런스전압(0~10V/3A).
  • 각 모듈당 실측오차+-500uV ADC 128ch.
  • 각 모듈당 신호 및 소비전류 caliberation기능.
  • 각 모듈당 교환이 용이한 레프런스저항 카트리지.
  • 30년 업력.